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フォアライント膜 VSMI-450-QF25-120
编号：TG-0357645652
- 高真空下でチャンバー内へのポンプ油の逆拡散を防止します。
- 电解研磨仕上げが施度れたSUS304制です。
- 内置の自己制御ヒーターにより、加热再生が可能です。
- エレメントはモレキュラシーブ13X(合成ゼオライト)を使用し、多数の分子尺寸の空孔が大量の水蒸气･油蒸气を吸着します。
编号：TG-0357645652